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晶圓搬運傳輸系統
2016-03-17
1. 晶圓搬運機械手2. 晶圓預對準系統3. 晶圓裝卸料塢(Loadport).....
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晶圓切割及分離處理
2016-03-17
1. 晶圓切割貼膜機2. 晶圓裂擴片倒膜一體機.....
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晶圓薄化及保護處理
2016-03-17
1. 晶圓臨時鍵合解鍵合機2. 晶圓减薄貼撕膜機3. 晶圓减薄拋光一體機 4. 晶圓光刻貼膜機5. 晶圓級覆膜機6. 晶圓保護貼膜機.....
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晶圓外觀及身份處理
2016-03-17
1. 晶圓表面檢查機2. 晶圓分選機3. 晶圓倒片裝拆包機.....
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